工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm

“工信微报”介绍道，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。

而观察者网注意到，在《首台重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》电子专用装备目录下，集成电路设备方面:氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

工信部网站

《首台重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》

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